Reactive magnetron sputtering adalah teknik matang untuk menyimpan lapisan senyawa tipis pada gamut luas substrat sebagai lapisan atas atau sebagai lapisan perantara dalam lapisan multilayer. Cakupan "tipis" berkisar dari beberapa nanometer hingga beberapa mikrometer.
Mengapa magnetron tergagap?
Magnetron sputtering adalah proses tumbukan antara partikel yang datang dan target … Magnetron sputtering meningkatkan densitas plasma dengan memperkenalkan medan magnet pada permukaan katoda target dan memanfaatkan kendala medan magnet pada partikel bermuatan untuk meningkatkan laju sputtering.
Apa yang dimaksud dengan sputtering reaktif?
Reactive sputtering adalah proses yang memungkinkan senyawa disimpan dengan memasukkan gas reaktif (biasanya oksigen atau nitrogen) ke dalam plasma yang biasanya dibentuk oleh gas inert seperti argon (paling umum), xenon, atau kripton.
Bagaimana cara kerja magnetron sputter?
Magnetron sputtering adalah teknologi pengendapan yang melibatkan plasma gas yang dihasilkan dan terbatas pada ruang yang berisi materi yang akan disimpan – 'target'. … Tabrakan ini menyebabkan penolakan elektrostatik yang 'mematikan' elektron dari atom gas yang menyembur, menyebabkan ionisasi.
Mengapa RF tergagap?
RF atau Radio Frequency Sputtering adalah teknik yang terlibat dalam bolak-balik potensi listrik arus di lingkungan vakum pada frekuensi radio untuk menghindari muatan yang menumpuk pada jenis bahan target sputtering tertentu, yang seiring waktu dapat menyebabkan lengkung ke dalam plasma yang memuntahkan tetesan …
